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Edwards分子泵

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Edwards分子泵

  • 所属分类:分子泵

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  • 发布日期:2020/06/23 10:08:15
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详细介绍

名称:Edwards分子泵

介绍:Edwards 的高性能 STPHC 涡轮分子泵是为最严苛的半导体应用而设计的。这种泵经过实践检验的可靠性和一流的性能可以实现最大的制程灵活性。STPHC 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

特点:

●较好的转子技术  

●更高的气体吞吐量

●较大的制程灵活性

●无油

●低振动

●高度可靠

●免维护

●可用于严苛制程

●使用寿命延长

●较好的控制器设计  

●自动调整

●自行诊断功能

●直流电机驱动

●无电池运行

●紧凑型设计  

●占地面积小

●半机架控制器

●轴磁悬浮系统

●无污染

●少维护

●任意方向操作

Edwards分子泵

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关键词:Edwards分子泵,分子泵厂家,分子泵维修

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