名称：AD 3060真空泵
介绍：PFEIFFER ADH 系列大的优势之一是其高氢气抽速，在工艺步骤之间拥有更快排空腔室的能力。结合大流量的设计，这使得 ADH 泵适用于苛刻的工艺规范。得益于优化的设计，该系列泵在同级泵送性能水平中可提供市场上佳的功耗。
特点：
●对工艺副产物的高耐受性
该系列泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉尘积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉尘，保证良好的重启能力。ADH 系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。
●坚固、安全
ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行易爆性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有高水平的安全性。
●无中期维护成本
所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。经过改善的粉尘耐受性、冷凝管理以及待机模式有助于降低运营成本。
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