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ESA Series真空泵

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ESA Series真空泵

  • 所属分类:Ebara(荏原)真空泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/22 17:54:29
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详细介绍

名称:ESA Series真空泵

介绍:ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/I等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速,高通信功能等。

特点:

●适用 于大型真空反应室的高速排气

●具有高性 能通信机能

●转速自动调节功能

●采用大口径转子, 设计上上乘小型

●不产生真空泵大型化所引起的搬运性 能降低

●也可用于有机溶剂排气上用的特别规格

ESA-Series维修

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关键词:ESASeries真空泵,真空泵维修,真空泵

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