名称：ESA Series真空泵
介绍：ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/I等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速,高通信功能等。
特点：
●适用 于大型真空反应室的高速排气
●具有高性 能通信机能
●转速自动调节功能
●采用大口径转子， 设计上上乘小型
●不产生真空泵大型化所引起的搬运性 能降低
●也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
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