名称：ESR Series真空泵
介绍：ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。性能上具有排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重里轻的工艺要求。
特点：
●适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
●较低的运行 成本，省功耗，可节省60% (与本公司系列相比较)
●无需N2来 做轴密封(ESR20N)
●小型化，重里轻，大减少40% (与本公司A系列相比较)
●增加泵的转速控制
●高性能的通信机能
●采用高度控制泵的运转方式
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