名称:ESR Series真空泵
介绍:ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵,对于L/L,SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。性能上具有排气速度可调节,高通信处理功能,从而适应了省功耗,占地面积小,重里轻的工艺要求。
特点:
●适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
●较低的运行 成本,省功耗,可节省60% (与本公司系列相比较)
●无需N2来 做轴密封(ESR20N)
●小型化,重里轻,大减少40% (与本公司A系列相比较)
●增加泵的转速控制
●高性能的通信机能
●采用高度控制泵的运转方式
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