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EV-M Series真空泵维修

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EV-M Series真空泵维修

  • 所属分类:Ebara(荏原)真空泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/22 18:02:43
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详细介绍

名称:EV-M Series真空泵维修

介绍:EV-M系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵,对于L/L,SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。性能上具有排气速度可调节,高通信处理功能,从而适应了省功耗,占地面积小,重里轻的工艺要求。

特点

●较低的运行 成本,省功耗

●无需N2来 做轴密封(ESR20N)

●小型化,重里轻

●增加泵的转速控制

●高性能的通信机能

●采用高度控制泵的运转方式

真空泵维修,重庆分子泵冷泵维修厂家

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关键词:EV-MSeries真空泵维修,真空泵维修,真空泵

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