名称：AAS Series真空泵
介绍：AAS系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。性能上具有排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重里轻的工艺要求。
特点：
● 较适用于大型真空反应室的高速排气
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子，设计上小型
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
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