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iH Series真空泵

iH Series真空泵

  • 所属分类:BOC Edwards(爱德华)真空泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/22 18:45:31
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详细介绍

名称:iH Series真空泵

介绍:Edwards上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

iH系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD 和LPCVD 制程)提供了高可靠性。

特点:

●优化了设施消耗。

●无需预防性维护。

●悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

●在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。

●耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

●较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的保证。

●整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

真空泵维修,重庆分子泵冷泵维修厂家

重庆曼特莱真空科技有限公司是一家专业的真空泵维修厂家,主要提供重庆分子泵,冷泵,爱德华真空泵,荏原真空泵,普发真空泵,樫山真空泵等维修回收等,重庆曼特莱多年行业经验,维修配件齐全,价格合理,欢迎来电咨询!


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