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EPX Serie真空泵

EPX Serie真空泵

  • 所属分类:BOC Edwards(爱德华)真空泵

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  • 发布日期:2020/06/22 18:54:47
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详细介绍

名称:EPX Serie真空泵

介绍:新的紧凑型EPX180高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。模块化EPX180基于备受赞誉、大获成功的IPX系列,可提供的性能,与IPX相比, 包装重量轻了20%、体积小了30% 且功率降低了40%。

特点:

●紧凑的占地面积-作为可用的工具上泵之一, EPX高真空干泵显著节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

●低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。

●独特的砖利保护机械装置- EPX可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,诃以在所有进气口压力下连续工作。

●超清洁机械装置-传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

●非常可靠- EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX技术,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修-次,大程度地延长了泵的使用寿命。

●可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

真空泵维修,重庆分子泵冷泵维修厂家

重庆曼特莱真空科技有限公司是一家专业的真空泵维修厂家,主要提供重庆分子泵,冷泵,爱德华真空泵,荏原真空泵,普发真空泵,樫山真空泵等维修回收等,重庆曼特莱多年行业经验,维修配件齐全,价格合理,欢迎来电咨询!


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