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选择正确的真空泵需要注意哪几点?

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选择正确的真空泵需要注意哪几点?

发布日期:2020-06-24 00:00:00 作者: 点击:

选择正确的真空泵需要注意哪几点?

由于在真空容器器壁两侧的气体总是存在压力差,所以任  何种类的器壁材料总要或多或少  地渗透一些气体,气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入扩散、通过和逸出固体阻挡层的过程称为渗透、该情况下的稳态流率称为渗透率  渗透率与气体和材料的种类有关,在真空工程领域中所用的金属、玻璃、橡胶及塑料等对气体来说或多或少都可以渗透。其渗透量随不同的气体和材料而异,而且差异较大对金属来说,有些金属(如不锈钢、铜、铝、钼等)的气体渗透系数就很小,在大多数实际应用中可以忽略不计,但对某些金属(如铁、镍等),氢气对它们就具有较高的渗透率。氢气对钢的渗透率随含碳量的增加而增加,所以选择低碳钢做真空室材料为好;另外有些金属对气体的渗透具有选择性,如氢气就极容易渗透过钯,氧气易透过银等。可以利用这个性质对气体进行提纯和真空检漏气体对玻璃、陶瓷等的渗透,一般是以分子态的形式进行的。渗透过程和气体分子的直径及材料内部微孔大小有关。含纯二氧化硅的石英玻璃的微孔孔径约为0.4m,其他玻璃因碱金属离子(钾、钠、钡等)填充于微孔之中,使其有效孔径变小,所以各种气体对石英玻璃的渗透性大,而对其他玻璃的渗透性就小。由于氮分子的直径在各种气体分子中小,所以氦对石英玻璃的渗透在气体固体配偶中是大的气体对有机材料(如橡胶、塑料)的渗透过程一般是以分子态进行的。由于有机材料的微  孔比较大,因此气体对有机材料的渗透能力比玻璃、金属要大得多。

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

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3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。


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